公告公示
根據《建設項目環境保護管理條例》和《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》要求，2024年5月30日，浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司邀請相關單位人員及專家組成驗收工作組，根據浙江齊鑫環境檢測有限公司編制的《浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行竣工環境保護驗收監測表》（QX(竣)20240503），嚴格依照國家有關法律法規、建設項目竣工環境保護驗收技術規范、本項目環境影響評價報告表和審批部門審批意見等要求對本項目進行驗收，內容如下：
一、工程建設基本情況
1、建設地點、規模、主要建設內容
浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司位于麗水市蓮都區成大街618號地塊，地塊總占地面積92659m2，在該地塊新建廠房、倉庫及附屬設施，實施大直徑硅片外延項目 。項目主要采用SC-1清洗、清洗、外延、檢測的生產技術工藝，購置外延爐、洗凈機、顆粒測試儀等國產及進口設備，建成現狀年產40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片的生產能力。
項目工作制度及定員：本項目勞動定員192人，實行三班制工作制度，年工作300天，廠區內設有食堂和宿舍。
2、建設過程及環保審批情況
公司于2022年5月委托麗水市環科環保咨詢有限公司編制了《浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項目環境影響報告書》，并于2022年5月30日取得麗水市生態環境局出具的《關于浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延片項目環境影響報告書的審批意見》（麗環建開[2022]23號）。項目2022年5月開工，2023年7月投入試生產，目前形成年產40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片的生產能力。項目已進行排污許可登記，編號《91331100MA7BF2F296001W》，有效日期為2022年9月29日-2027年9月28日。
3、投資情況
項目實際總投資為350000萬元，環保實際投資額為6000萬元，占項目實際總投資的1.71%。
4、驗收范圍
本次驗收為浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行驗收，驗收產能為年產40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片。
二、工程變動情況
根據項目《竣工環保驗收監測表》及現場檢查：項目部分廠房設備未建設，驗收產能為年產40萬片200mm半導體硅外延片和60萬片300mm半導體硅外延片；根據生產設備布局情況增加2套堿液噴淋塔（合計為4套）；公司針對氣站酸性氣體（氯化氫）增設堿性噴淋塔處理后15m排氣筒排放，針對污水處理臭氣微負壓收集增設噴淋塔處理后25m排氣筒排放；其它建設情況與環評基本一致，無重大變動。
三、環境保護設施建設情況
1、廢水
項目產生的廢水主要有生活污水、初期雨水、生產廢水（硅片洗凈機工藝廢水、片盒預洗凈機清洗廢水、石英件洗凈機工藝廢水、scubber除害裝置廢水）、公用廢水（蒸汽冷凝水及排污水、離子水制備濃縮水、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水）。
生活廢水經化糞池或隔油池預處理后的生活污水納管排放；初期雨水經收集池（720m3）收集后引入終端沉淀池處理后納管排放。
硅片洗凈工藝廢水主要有酸堿廢水、含氟廢水、含氨廢水，各自進入污水站內已建的含氨廢水、含氟廢水、酸堿廢水處理系統處理處理；片盒洗凈機清洗廢水進入污水站酸堿廢水處理系統處理；石英件洗凈機廢水進入污水站含氟廢水處理系統處理；scubber除害廢水進入污水站酸堿廢水處理系統處理；鍋爐排污水、純水制備反沖洗水和廢氣洗滌塔廢水進入污水站酸堿廢水系統處理，上述廢水處理后引入終端沉淀池處理后納管排放；蒸汽冷凝水回用于生產；離子水制備濃縮水納管排放。各類廢水最終進入水閣污水處理廠處理達標后排放，具體處理工藝及處理能力詳見驗收監測報告。
2、廢氣
本項目廢氣主要為硅片清洗產生的酸性廢氣、堿性廢氣、外延廢氣、鍋爐燃燒廢氣、污水站臭氣、氣站廢氣、食堂油煙。
酸性廢氣槽內負壓收集后進入4套廢氣洗滌塔（堿液噴淋）處理后各通過4根25m高排氣筒排放。
堿性廢氣槽內負壓收集后進入酸液洗滌塔處理后通過1根25m高排氣筒排放。
外延廢氣經外延爐尾部自帶尾氣處理器（local scrubber）兩級水洗處理后匯總至樓頂5套噴淋塔+吸附裝置二次處理后經5根25m排氣筒排放。
鍋爐燃燒廢氣收集引至25m排氣筒排放。
污水站臭氣設置負壓集氣管道收集引至樓頂一套“噴淋塔”處理后25m排氣筒排放。
氣站房內的酸性氣體（氯化氫）收集引至一套“堿性噴淋塔”處理后于15m排氣筒排放。
食堂油煙經油煙凈化裝置處理后樓頂高空排放。
3、噪聲
項目噪聲主要為機械設備的運行噪聲。通過合理布局和選用低噪設備等措施來降低設備運行時產生的噪聲以及減少對周邊環境的影響。
4、固廢
項目危險廢物有含汞廢片、廢水處理污泥污泥、危廢包裝容器、職工生活垃圾、廢次品、廢滲透膜、廢吸附棉、廢活性炭、廢機油。
含汞廢片、廢水處理污泥、危廢包裝容器、廢吸附棉、廢機油、分類收集暫存危廢間內，委托光大綠保固廢處置（溫嶺）有限公司處置；廢次品回收綜合利用；廢活性炭廠家維護回收；廢滲透膜、生活垃圾委托環衛部門清運處置。
5、其它
公司污水處理處理系統排放口、總排口設置了在線監測裝置，運維單位為麗水同泰環保科技有限公司；已基本落實環境風險防范措施，設有1座地埋式應急池640m3，并制定了環境風險事故應急預案，已備案（331102-2023-53-H）。
四、環境保護設施調試效果
1、廢水
根據監測結果，公司總排口廢水中pH值范圍、懸浮物、化學需氧量、總磷、總氮、氟化物、石油類排放濃度均符合《電子工業水污染排放標準》（GB39731-2020）中表1間接排放限值，其中氨氮排放符合《工業企業廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中標準限值要求；動植物油和五日生化需氧量符合《污水綜合排放標準》（GB8978-1996）中三級標準要求。
項目含氨廢水處理設施化學需氧量處理效率為90.26%。酸堿廢水處理信息氨氮處理效率為92.10%，含氨廢水處理設施氨氮處理效率為96.10%，含氟廢水處理設施氟化物處理效率為43.47%，含氨廢水處理設施總氮處理效率為87.95%。
2、廢氣
無組織排放：公司廠界無組織顆粒物、氯化氫、氟化物、氮氧化物濃度均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）無組織標準要求；氨氣、臭氣濃度符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）廠界標準要求。
敏感點環境空氣中總懸浮顆粒物、氟化物、氮氧化物均符合《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）及修改單中二級標準要求。特征污染物氯化氫、氨氣符合環評提出標準要求（HJ2.2-2018附錄D）。
有組織排放：驗收監測期間，公司干式酸排排氣筒出口氯化氫、顆粒物排放均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。濕式酸排排氣筒出口氟化物、氮氧化物排放均符合《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。堿排排氣筒出口氨氣排放符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中排放速率要求。天然氣燃燒廢氣排氣筒出口顆粒物、二氧化硫、氮氧化物、煙氣黑度排放均符合《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB13271-2014）中新建燃氣鍋爐特別排放標準要求及《燃氣鍋爐低氮改造工作技術指南（試行）》標準要求。污水站臭氣排氣筒出口臭氣濃度、氨、硫化氫排放均符合《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中標準要求。氣站酸性廢氣排氣筒出口氯化氫排放符合《大氣污染物排放標準》（GB16297-1996）中二級標準及排放速率要求。
3、噪聲
驗收監測期間，公司廠界東側晝間和夜間噪聲符合《工業企業廠界環境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準要求，其中南側、西側、北側滿足4a類標準要求。
敏感點晝間和夜間噪聲符合《聲環境質量標準》（GB3096-2008）中2類標準要求。
4、總量控制情況：根據驗收期間監測結果核算，項目實際排放量為COD：16.88t/a、NH3-N：0.844t/a、SO2：0.004t/a、NOX：0.066t/a，符合環評總量控制要求。
五、驗收結論
依據《建設項目竣工環境保護驗收暫行辦法》（國環規環評[2017]4號），浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行環保手續齊全。根據《 浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司中欣晶圓大直徑硅片外延項目先行竣工環境保護驗收監測表》等資料及環境保護設施建設情況，企業基本按照建設項目環境保護“三同時”的有關要求落實了各項環境保護設施與措施，并按要求公示驗收情況。
公示日期：2024年6月14日-7月14日
聯系人、電話：姚繼斌 13735387965
公示網站：http://m.rxkcxl.cn/default.aspx?pageid=65
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